Afin de pouvoir étudier ces propriétés, le LMOPS a développé des bancs de mesure destinés à la caractérisation électrique des matériaux (principalement semi-conducteurs) regroupés au sein d’une plateforme technologique : la plateforme CAREL. Cette plateforme de caractérisation électrique (CAREL) a été conçue et mise en œuvre pour permettre l’étude et l’optimisation de matériaux et dispositifs à semi-conducteurs notamment, grâce à des techniques fiables et précises suivants une méthodologie cohérente. Les caractérisations sont, la plupart du temps, effectuées sur une couche ou un composant après une étape de traitement et de dépôt des contacts métalliques.
La plateforme intègre les équipements et logiciels pour effectuer les caractérisations suivantes : VAN DER PAUW / EFFET HALL (paramètres de transport), I-V (mécanismes de conduction), C-V (profils de dopants, pièges), PHOTOCOURANT (réponse spectrale), SPECTROSCOPIE D’ADMITTANCE (pièges dans les hétérostructures), TLM (résistance des contacts). Elle offre également la possibilité d’observer l’état de surface des échantillons grâce à deux profilomètres, mécanique et optique.
Labellisations :
Règlement et accès
1. Accès :
- Réservation par mail au minimum 48h avant la date souhaitée (jours ouvrés)
- Charte des utilisateurs de la plateforme CAREL
2. Équipements :
Utilisation libre (après formation) | Profilométrie et mesures d’épaisseur (en accompagnement) | Projet ou étude spécifique |
|---|---|---|
| Banc I(V) | Profilomètre mécanique Bruker Dektak XT | Photo-courant |
| Banc van der Pauw/Hall | Profilomètre optique Profilm3D | Banc C(V) |
| Spectroscopie d’admittance |
3. Contacts :
Responsable Technique | Responsable Scientifique |
|---|---|
| Queny Kieffer / Ingénieur d’étude en Techniques Expérimentales | Sidi Hamady / Professeur des Universités |
| queny.kieffer@univ-lorraine.fr | sidi.hamady@univ-lorraine.fr |